แต่เดิมครั้งพุทธกาลนั้น มีการใช้คำว่า “อาราม” เป็นคำเรียกชื่อ ศาสนสถานในทางพุทธศาสนาที่ใช้เรียกเสนาสนะที่มีผู้ศรัทธาถวายพระพุทธองค์ใน ระยะแรกๆ เช่น “เชตวนาราม” หรือชื่อเต็มว่า “เชตวเนอนาถบิณฑิกสสอาราเม” ซึ่งมีความหมายว่า “สวนของอนาถบิณฑที่ป่าเชต” หรือ “เวฬุวนาราม” หรือ “บุปผาราม” เป็นต้น โดย “อาราเม” หรือ “อาราม” ในคำอ่านของไทยแปลว่าสวน นอกจากนี้ในเวลาต่อมายังมีคำที่ใช้เรียกอีกอย่างว่า “วิหาระ” หรือ “วิหาร”
อย่างไรก็ตามก็ยังมีคำที่ให้ความหมายว่าวัดอยู่อีกชื่อหนึ่ง คือ “อาวาส” ดังชื่อเรียกสมภารผู้ครองวัดว่า “เจ้าอาวาส” ซึ่งแปลว่าผู้เป็นใหญ่ในวัด หรือชื่อเรียกวัด เช่น เทพศิรินทราวาส (เทพ + ศิรินทรา + อาวาส) โดยปกติคำว่าอาวาสไม่เป็นที่นิยมใช้กันในความหมายว่าวัด ทั้งนี้เพราะนิยมนำไปใช้กับความหมายที่แคบกว่าคำว่าอาราม โดยมักให้ความหมายในเชิงที่เป็นตัวเรือนที่อยู่อาศัยมากกว่า อาวาสจึงเสมือนเป็นที่อยู่ส่วนย่อยภายในอารามที่หมายถึงพื้นที่ที่เป็นศาสนสถานทั้งเขต เช่น วัดราชบพิธสถิตมหาสีมาราม กรุงเทพฯ พระอารามหลวงชั้นเอก ชนิดราชวรวิหาร, วัดบวรนิเวศวิหาร กรุงเทพฯ พระอารามหลวงชั้นเอก ชนิดราชวรวิหาร, วัดกัลยาณมิตร ธนบุรี พระอารามหลวงชั้นโท ชนิดราชวรมหาวิหาร, วัดปทุมวนาราม กรุงเทพฯ พระอารามหลวงชั้นตรี ชนิดราชวรวิหาร, วัดอินทรวิหาร วัดราษฎร์