xs
xsm
sm
md
lg

แม้ยังไม่ดีเท่า ASML แต่จีนก็ผลิตเครื่องลิโทกราฟีแบบ DUV สำหรับการผลิตชิปขั้นสูงได้เองแล้ว

เผยแพร่:   ปรับปรุง:   โดย: ผู้จัดการออนไลน์


คนงานกำลังทำงานอยู่หน้าเครื่องลิโทกราฟี High NA EUV ที่โรงงานของบริษัทอินเทลในเมืองฮิลส์โบโร รัฐโอเรกอน สหรัฐอเมริกา – ภาพ : รอยเตอร์
ถือเป็นก้าวสำคัญในการลดการพึ่งพาเทคโนโลยีจากต่างประเทศ เมื่อบริษัทเทคโนโลยีในนครเซี่ยงไฮ้เริ่มการผลิตเครื่องลิโทกราฟีแบบ DUV ซึ่งจีนพัฒนาขึ้นเอง โดยมีแผนส่งมอบให้บริษัทผู้ผลิตชิปชั้นนำของจีนในปีนี้

ตามการเปิดเผยของแหล่งข่าววงใน ผู้นำในการผลิตครั้งนี้คือบริษัท เซี่ยงไฮ้ ไอเซิงนา อิเล็กทรอนิกส์ เทคโนโลยี กรุ๊ป(Shanghai Aishengna Electronic Technology Group) ซึ่งเป็นของรัฐบาลจีนและไม่ค่อยเป็นที่รู้จักกันนัก โดยเป็นการทำงานร่วมกับทีมต่าง ๆ จากบริษัทสตาร์ตอัปด้านลิโทกราพีระดับหัวกะทิในประเทศ เพื่อผลิตออกมาประมาณ 5 เครื่องในปีนี้ และประมาณ 20 เครื่องในปี 2570 โดยบริษัท CXMT ผู้ผลิตชิปหน่วยความจำ บริษัทSMIC และบริษัทHua Hong Semiconductor คาดว่าจะได้นำมาใช้งาน
 
เครื่องลิโทกราฟีเป็นเครื่องมือพื้นฐานในการผลิตชิป เนื่องจากเป็นเครื่องแกะลวดลายเส้นวงจรอิเล็กทรอนิกส์ลงบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิ โดยใช้แสงในการแกะลวดลาย

 
สำหรับเครื่องลิโทกราฟีแบบ DUV เป็นเทคโนโลยีสำคัญในการผลิตชิปขั้นสูง โดยใช้แสงอัลตราไวโอเลตความเข้มข้นลึกและใช้น้ำบริสุทธิ์คั่นระหว่างเลนส์ฉายภาพกับแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน เพื่อหักเหแสงให้มีความคมชัดและสร้างลวดลายเส้นวงจรที่เล็กและแม่นยำยิ่งขึ้นกว่าเครื่องแบบดั้งเดิม


บริษัท ASML ของเนเธอร์แลนด์เป็นผู้นำในการผลิตเครื่องลิโทกราฟีแบบ DUV และเครื่องลิโทกราฟีแบบ EUV อย่างไรก็ตาม สหรัฐฯ และเนเธอร์แลนด์ชาติพันธมิตรได้จำกัดการขายเครื่อง EUV ให้แก่จีน รวมถึงการขายเครื่อง DUV ขั้นสูงบางรุ่น


แหล่งข่าวระบุว่า เครื่อง DUV ของไอเซิงนายังเทียบชั้นกับของ ASML ไม่ได้อยู่หลายขุม และคาดว่าจะต้องผ่านการทดสอบเพิ่มเติม

 
อย่างไรก็ตาม การใช้งานที่ประสบความสำเร็จจะทำให้ผู้ผลิตชิปของจีนมีแหล่งอุปกรณ์ทางเลือก หากรัฐบาลตะวันตกจำกัดการส่งออกหรือจำกัดการให้บริการเครื่องมือลิโทกราฟีแก่จีนมากขึ้น


รายงานข่าวจีนเริ่มการผลิตเครื่องลิโทกราฟีแบบ DUV ทำให้หุ้นของ ASML ร่วงลงมากกว่า 8% เมื่อวันจันทร์


ทั้งนี้ ไอเซิงนาก่อตั้งขึ้นในเดือนสิงหาคม 2566 ด้วยทุนจดทะเบียน 7 พันล้านหยวน ( ราว 34,757 ล้านบาท) โดยมีรัฐวิสาหกิจเพียงสองรายถือหุ้น


ไอเซิงนาร่วมทีมกับบริษัทสตาร์ตอัปด้านลิโทกราฟี อวี่เหลียงเซิน และบริษัท เซี่ยงไฮ้ ไมโคร อิเล็กทรอนิกส์ อีควิตี้ (SMEE) ในการผลิต หลังจากอวี่เหลียงเซินเริ่มทดสอบต้นแบบ DUV เมื่อปีที่แล้ว


อวี่เหลียงเซินเป็นบริษัทในเครือของเซินเจิ้น ซีแคร์ริเออร์ เทคโนโลยีส์ ผู้ผลิตอุปกรณ์ที่ได้รับการสนับสนุนจากหัวเว่ย ซึ่งมีส่วนร่วมอย่างมากในความพยายามของรัฐบาลจีนในการพึ่งพาตนเองด้านเซมิคอนดักเตอร์


ที่มา : รอยเตอร์